X射線熒光分析是一種物理分析方法， X射線熒光光譜儀分析速度快。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過側(cè)里和分析樣品產(chǎn)生的的產(chǎn)生與特性當(dāng)用高能電子束照射樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負(fù)的加速度會產(chǎn)生寬帶的連續(xù)X射線譜，簡稱為連續(xù)潛或韌致輻射。另一方面，化學(xué)元素受到高能光子或粒子的照射，如內(nèi)層電子被激發(fā)，則當(dāng)外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。

　　X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。

　　下面我們來看看X射線熒光光譜儀的性能主要可以分為以下幾個方面：

　　1、噪聲等效功率和動態(tài)范圍。當(dāng)信號的值與噪聲的值相當(dāng)?shù)臅r候，從噪聲中分辨信號就會困難。一般用與噪聲相當(dāng)?shù)男盘柕闹祦肀碚髂芤粋€光譜儀所能夠測量的弱的光強(qiáng)。噪聲等效功率越小，光譜儀就可以測量弱的信號。

　　2、敏度與信噪比。敏度描述了X熒光光譜儀把光信號變成電子學(xué)信號的能力，高的敏度減小電路本身的噪聲對結(jié)果影響。狹縫的寬度、光柵的類型、探測器的類型以及電路的參數(shù)都會影響敏度。人為地調(diào)高前置放大電數(shù)也會提高名義上的敏度，但并不實際的測量。

　　3、波長范圍。波長范圍是X熒光光譜儀所能測量的波長區(qū)間。使用新型探測器可以使之前的范圍拓展一些距離，即覆蓋紫外、可見和近紅外波段。光柵的類型以及探測器的類型會影響波長范圍。

　　4、波長分辨率。波長分辨率描述了光譜儀能夠分辨波長的能力，波長分辨率與波長的取樣間隔是兩個不一樣的概念。高的波長分辨率意味著窄額度波長范圍。

　　以上就是對X射線熒光光譜儀的相關(guān)介紹，供大家參考！